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KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 濺射制備 MnGe 量子點
發(fā)布者:bdqysh  發(fā)布時間:2020-12-29 15:59:36

云南某大學實驗室采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140離子束濺射制備尺寸均勻、高密度的 MnGe 量子點MnGe 量子點屬于半導體量子材料的領域.

 

伯東 KRI考夫曼射頻離子源 RFICP140 技術參數(shù):

型號

RFICP 140

Discharge

RFICP 射頻

離子束流

>600 mA

離子動能

100-1200 V

柵極直徑

14 cm Φ

離子束

聚焦平行散射

流量

5-30 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

長度

24.6 cm

直徑

24.6 cm

中和器

LFN 2000

 

運行結果:

KRI考夫曼射頻離子源 RFICP140 可控性強制備工藝簡單具有較強的商業(yè)價值.

 

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵檢漏儀質譜儀真空計美國 KRI 考夫曼離子源美國HVA 真空閥門美國 inTEST 高低溫沖擊測試機美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

 

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