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KRI 考夫曼聚焦射頻離子源 RFICP380 輔助制備原子探針樣品
發(fā)布者:bdqysh  發(fā)布時間:2020-12-24 16:02:08

上海大學(xué)研究中心采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 FRICP380  輔助制備三維原子探針樣品主要是對三維原子探針樣品進行蝕刻使樣品變薄

 

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP380 技術(shù)參數(shù):

射頻離子源型號

RFICP380

Discharge 陽極

射頻 RFICP

離子束流

>1500 mA

離子動能

100-1200 V

柵極直徑

30 cm Φ

離子束

聚焦平行散射

流量

15-50 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

長度

39 cm

直徑

59 cm

中和器

LFN 2000

 KRI 考夫曼離子源 RFICP 380

運行結(jié)果:

1. 采用 KRI 考夫曼射頻離子源 FRICP380可以克服鋯合金脆斷的問題

2. 制備得到的樣品滿足了三維原子探針觀察樣品的要求

3. 可實現(xiàn)三維原子探針樣品的快速便捷高效制備

 

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵檢漏儀質(zhì)譜儀真空計美國 KRI 考夫曼離子源美國HVA 真空閥門美國 inTEST 高低溫沖擊測試機美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

 

若您需要進一步的了解詳細(xì)信息或討論請參考以下聯(lián)絡(luò)方式:

上海伯東羅先生                               臺灣伯東王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
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