系列：控制電源
產(chǎn)品描述
RPS AX7695 MKS遠(yuǎn)程等離子源
產(chǎn)品品名:MKS RPS AX7695遠(yuǎn)程等離子源
系列:RPS系列
作用:產(chǎn)生高密度、均勻的等離子體，用于材料改性、表面處理、薄膜沉積等多種應(yīng)用。
用途:
半導(dǎo)體制造:晶圓清洗、刻蝕、沉積等
光伏制造:玻璃清洗、鍍膜等
顯示器制造:蝕刻、沉積等
其他:生物醫(yī)學(xué)、航空航天、汽車制造等
特征:
高密度、均勻的等離子體
可控的等離子體參數(shù)
穩(wěn)定的運(yùn)行
易于維護(hù)
產(chǎn)品說(shuō)明:
MKS RPS AX7695遠(yuǎn)程等離子源是一款高性能、高可靠性的遠(yuǎn)程等離子源，采用先進(jìn)的射頻(RF)技術(shù)和微波技術(shù)制造而成。它具有高密度、均勻的等離子體、可控的等離子體參數(shù)、穩(wěn)定的運(yùn)行、易于維護(hù)等特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光伏制造、顯示器制造等多種領(lǐng)域。
產(chǎn)品描述:
MKS RPS AX7695遠(yuǎn)程等離子源由電源、匹配網(wǎng)絡(luò)、等離子體腔體等組成。電源產(chǎn)生高頻或微波能量，通過(guò)匹配網(wǎng)絡(luò)傳輸?shù)降入x子體腔體。在等離子體腔體內(nèi)，電磁場(chǎng)將氣體激發(fā)成等離子體。等離子體通過(guò)等離子體出口射向目標(biāo)表面，進(jìn)行材料改性、表面處理、薄膜沉積等操作。
產(chǎn)品參數(shù):
型號(hào):RPS AX7695
頻率:13.56 MHz
功率:2 kW
等離子體密度:>10^12 cm^-3
等離子體均勻性:<5%
產(chǎn)品規(guī)格:
尺寸:600 mm x 400 mm x 300 mm
重量:20 kg
應(yīng)用領(lǐng)域:
MKS RPS AX7695遠(yuǎn)程等離子源廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域:
半導(dǎo)體制造:晶圓清洗、刻蝕、沉積等
光伏制造:玻璃清洗、鍍膜等
顯示器制造:蝕刻、沉積等
其他:生物醫(yī)學(xué)、航空航天、汽車制造等
