二、國標氣體鋼瓶接頭的對照表如下：
GAS TYPE氣體 分子式 氣體種類 標準 CGA接頭 UHP CGA DIN JIS
High Purity Gas 高純氣體 W21.8-14RHF 180 350
Acetylene C2H2 乙炔 軋?zhí)m 200/300/510 N/A N/A N/A
Air Air 空氣 G5/8"-RHF 346/590 N/A N/A N/A
Ammonia NH3 氨氣 G1/2"-RHF 705 720 DIN6 22-R
Argon Ar 氬氣G5/8"-RHF 580 718 DIN6 22-4O/23-R
Arsine AsH3 N/A 350 632 N/A 22-l
Boron Trichloride BCl3 三氯化硼 G3/4"-RHF/ W21.8-14RHF 660 634 DIN8 N/A
Boron Trifluoride BF3 G3/4"-RHF/ W21.8-14RHF 330 642 DIN8 22-l
Butane C4H8 丁烷 瓦斯 M22*1.5-LHM 510 N/A N/A N/A
Carbon Dioxide CO2 二氧化碳 G5/8"-RHF 320 716 DIN6 N/A
Carbon Monoxede CO 一氧化碳 W21.8-14LHF 350 724 DIN5 22-l
Cyclopropane C3H6 環(huán)丙烷 M22*1.5-LHM 510 N/A N/A N/A
Diborane B2H6 N/A 350 632 N/A 22-l
Dichlorosilane CH3SHCl2 二氯甲硅烷 N/A 678 636 DIN5 N/A
Diethylzinc (CH3CH2)2Zn 二乙基鋅 N/A 510 726 N/A N/A
Ethane C2H6 乙烷 M22*1.5-LHM 350 N/A N/A N/A
Ethyl Chloride C2H5Cl 氯乙烷 G3/4"-RHF 510 N/A N/A N/A
Ethylene C2H4 乙烯 M22*1.5-LHM 350 N/A N/A N/A
Ethylene Oxide CH2CH2O 環(huán)氧乙烷 G5/8"-RHF/ G3/4"-RHF 510 N/A N/A N/A
Germane GeH4 鍺烷 N/A 350or660 632 N/A N/A
Halocarbon11(116) R11(R116) G3/4"-RHF 660 716 N/A N/A
Halocarbon12 R12(R13,R23,R115) G3/4"-RHF 660 716 DIN6 N/A
Halocarbon14 R14 G3/4"-RHF 320/580 716 DIN6 N/A
Helium He 氦氣 G5/8"-RHF 580 718 DIN6 22-R/23-R
Hydrogen H2 氫氣 W21.8-14LHF 350 724 DIN1 22-L
Hydrogen Chloride HCl 氯化氫 G3/4"-RHF 330 634 DIN8 26-R
Hydrogen Fluoride HF 氟化氫 G3/4"-RHF/ W21.8-14RHF 660/670 638 N/A 26-R
Hydrogen Sulfide H2S 硫化氫 G3/4"-RHF/ W21.8-14RHF 330 722 DIN5 N/A
Iso-Butane I-C4H8 異丁烷 M22*1.5-LHM 510 N/A N/A N/A
Krypton Kr 氪 G5/8"-RHF 580 718 DIN6 22-R/23-R
Methane CH4 甲烷 W21.8-14LHF 350 N/A N/A N/A
Methyl Chloride CH3Cl 氯甲烷 G3/4"-RHF/ W21.8-14RHF 660 N/A N/A N/A
Natural Gas 天然氣 W21.8-14LHF/ M22*1.5-LHM 350 N/A N/A N/A
Neon Ne 氖氣 G5/8"-RHF 580 718 DIN6 22-R/23-R
Nitric Oxide NO 一氧化氮 G3/4"-RHF/ W21.8-14RHF 660 N/A N/A N/A
Nitrogen N2 氮氣 G5/8"-RHF 580 718 DIN10 22-R/23-R
Nitrogen Trifluoride NCl3 三氯化氮 G3/4"-RHF/ W21.8-14RHF 330/670 640 DIN8 N/A
Oxygen O2 氧氣 G5/8"-RHF 540 714 DIN9 22-R/23-R
Propane C3H8 丙烷 M22*1.5-LHM 510 N/A N/A N/A
Silane SiH4 硅甲烷 G3/4"-RHF/ W21.8-14RHF 350 632 N/A N/A
Silicon Tetrachloride SiCl4 四氯化硅 G3/4"-RHF/ W21.8-14RHF 330 636 N/A N/A
Silicon Tetrafluoride SiF4 四氟化硅 G3/4"-RHF/ W21.8-14RHF 330 642 N/A 22-L
Sulfur Hexafluoride SF6 六氟化硫 G5/8"-RHF 590 716 DIN6 26-R
Tungsten Hexafluoride WF6 六氟化鎢 N/A 670 638 DIN8 N/A
Xenon Xe 氙氣 G5/8"-RHF 580 718 DIN6 22-R
備注1:40L/10L不銹鋼瓶閥標準為G3/4"-RHF
備注2:10L以下標準氣體瓶閥標準為W21.8-14RHF
儀表接頭CGA330氯化氫氣瓶接頭墊片軟密封
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