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TORAY東麗 氧氣濃度計 半導(dǎo)體、液晶、電子零部件相關(guān)應(yīng)用MS-500
發(fā)布者:13024103468  發(fā)布時間:2024-03-06 15:30:58

TORAY東麗 氧氣濃度計 半導(dǎo)體、液晶、電子零部件相關(guān)應(yīng)用

氧氣濃度計MS-500


  • 最多可以同時測量8個點
  • 可以從ppm級別到100%的廣泛濃度表示。
  • 最適合安裝在半導(dǎo)體制造裝置、真空裝置等上
  • 傳感器為直插式(真空NW法蘭16/25/40)
  • 對高耐久的傳感器施以特殊涂層,進一步提高耐久性



MS-500機器規(guī)格

測量原理 氧化鋯濃淡電池
形狀 分離式(轉(zhuǎn)換器:壁掛式,傳感器:直插式)
顯示方式 數(shù)字4位表示(濃度表示)
測量微波爐 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O210-20~ 10-0atm
自動微波爐
反復(fù)性 ±0.5%FS以內(nèi)0-1%范圍以上
大于±1%FS或±0.1ppm,小于0-1%范圍
0-1ppm,atm微波爐不在濃度保證范圍內(nèi)
測定分?jǐn)?shù) 1 ~ 8
氣體采樣條件 壓力 10- 3~ 200kpa(絕對壓)
流量 0.5~5,000mL/minまたは0mL/min(自然拡散狀態(tài)の測定)
濕度 露點低于周圍溫度
溫度 0 ~ 100℃
其他 不含腐蝕性氣體(氟類氣體、氯類氣體、硫化類氣體等)、含有機硅的氣體、可燃成分(也包括氣體)、油分、水分
比較氣體 大氣
記錄計輸出 只有傳輸輸出
傳輸輸出 rs-232c
警報輸出 沒有
熱身時間 六分鐘以內(nèi)
尺寸 MS-500控制器 92(W)×44(H)×120(D) (突起部含まず)
MS-510(変換機) 100(W)×40(H)×88(D) (突起部含まず)
傳感器單元 sd16nw 全長100 mm(センシング部Φ11×39,軀體部Φ40×51歲)
sd25nw 全長100 mm(センシング部Φ11×42,軀體部Φ40×48歲)
sd40nw 全長100 mm(センシング部Φ11×41,軀體部Φ40×49歲)
質(zhì)量 MS-500控制器 約0.6公斤
MS-510(変換器) 約0.5 kg
傳感器單元 sd16nw 約0.2公斤
sd25nw 約0.2公斤
sd40nw 約0.35公斤
外部連接 真空法蘭(NW16,25,40)中的一種
使用電源 24 vdc±10%


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