德國MUEGGE等離子元件
天津瑞利光電科技有限公司經銷MUEGGE等離子元件。
產品詳情：
等離子元件MW2009D-260ED
描述：
雙等離子體的組合可以用于獲得二維等離子體陣列。單個源以及2個，4個和8個平行排列的等離子體可用于等離子體輔助表面處理，如表面活化，蝕刻和沉積。雙等離子體是不使用磁場的直接微波等離子體源。在簡化的描述中，它類似于由微波激發(fā)的反向發(fā)光管，雙等離子體通常在約1000Pa至10Pa的低壓下操作。由兩個磁控管產生的具有2.45GHz頻率的微波在兩端被饋送到等離子體線中。在外部低壓狀態(tài)下放電點火，隨著微波功率的增加，等離子體從沿著管的兩端增長，并且形成軸向均勻的等離子體。
特征：
-低壓微波等離子體源
-可擴展和緊湊的設計
-大面積應用
-高等離子體密度
-高效率
-低傷害
-輕松適應定制系統(tǒng)
參數(shù)：
-頻率：915MHz / 2450MHz / 5800MHz
-HF-輸入功率：典型2 kW / m @ 1 mbar
-波導：同軸8/26
-過程壓力：典型值0.1 mbar - 1 mbar
-等離子體密度：在2450MHz時高達1012 / cm3
-典型的過程氣體：ArO 2，N 2 H 2，NH 3，SiH 4，HMDSO
-電子溫度：~2eV
-同質性：優(yōu)于5％
材料：
-腔室：鋁
-氣體噴淋：鋁
-等離子體源：石英，AL2O3
-冷卻：水/空氣合并
連接器：
-同軸8/26（微波）
-接頭套管（水，空氣，氣體）
-尺寸：客戶特定
-MW電源元件
品牌介紹：
德國MUEGGE GmbH是在工業(yè)微波技術領域的供應商。其組合包括微波發(fā)生器和部件，包括相應的供電技術，用于各種應用，例如工業(yè)微波加熱，尤其是等離子技術。由MUEGGE生產的微波系統(tǒng)用于等離子體工業(yè)、半導體和平板的應用程序。MUEGGE公司擁有25年工業(yè)微波產品的生產制造經驗，始終為用戶提供新的 技術及產品，其提供的微波電源、發(fā)生器全部由微電腦控制，可實現(xiàn)任何接口的通訊對接。
MUEGGE的服務范圍從工藝工程到設備安裝工程體系建設、組裝、廠房建設和全面的客戶支持發(fā)展。其主要產品包括基于工業(yè)微波等離子體的元件和等離子體源，例如一個高性能的遠程等離子體源可以創(chuàng)建自由基（快速反應性自由基技術，R3T），用于在半導體工業(yè)中使用。
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