德國MUEGGE等離子元件
天津瑞利光電科技有限公司經(jīng)銷MUEGGE等離子元件。
產(chǎn)品詳情：
等離子元件MW2009D-260ED
描述：
雙等離子體的組合可以用于獲得二維等離子體陣列。單個(gè)源以及2個(gè)，4個(gè)和8個(gè)平行排列的等離子體可用于等離子體輔助表面處理，如表面活化，蝕刻和沉積。雙等離子體是不使用磁場(chǎng)的直接微波等離子體源。在簡化的描述中，它類似于由微波激發(fā)的反向發(fā)光管，雙等離子體通常在約1000Pa至10Pa的低壓下操作。由兩個(gè)磁控管產(chǎn)生的具有2.45GHz頻率的微波在兩端被饋送到等離子體線中。在外部低壓狀態(tài)下放電點(diǎn)火，隨著微波功率的增加，等離子體從沿著管的兩端增長，并且形成軸向均勻的等離子體。
特征：
-低壓微波等離子體源
-可擴(kuò)展和緊湊的設(shè)計(jì)
-大面積應(yīng)用
-高等離子體密度
-高效率
-低傷害
-輕松適應(yīng)定制系統(tǒng)
參數(shù)：
-頻率：915MHz / 2450MHz / 5800MHz
-HF-輸入功率：典型2 kW / m @ 1 mbar
-波導(dǎo)：同軸8/26
-過程壓力：典型值0.1 mbar - 1 mbar
-等離子體密度：在2450MHz時(shí)高達(dá)1012 / cm3
-典型的過程氣體：ArO 2，N 2 H 2，NH 3，SiH 4，HMDSO
-電子溫度：~2eV
-同質(zhì)性：優(yōu)于5％
材料：
-腔室：鋁
-氣體噴淋：鋁
-等離子體源：石英，AL2O3
-冷卻：水/空氣合并
連接器：
-同軸8/26（微波）
-接頭套管（水，空氣，氣體）
-尺寸：客戶特定
-MW電源元件
品牌介紹：
德國MUEGGE GmbH是在工業(yè)微波技術(shù)領(lǐng)域的供應(yīng)商。其組合包括微波發(fā)生器和部件，包括相應(yīng)的供電技術(shù)，用于各種應(yīng)用，例如工業(yè)微波加熱，尤其是等離子技術(shù)。由MUEGGE生產(chǎn)的微波系統(tǒng)用于等離子體工業(yè)、半導(dǎo)體和平板的應(yīng)用程序。MUEGGE公司擁有25年工業(yè)微波產(chǎn)品的生產(chǎn)制造經(jīng)驗(yàn)，始終為用戶提供新的 技術(shù)及產(chǎn)品，其提供的微波電源、發(fā)生器全部由微電腦控制，可實(shí)現(xiàn)任何接口的通訊對(duì)接。
MUEGGE的服務(wù)范圍從工藝工程到設(shè)備安裝工程體系建設(shè)、組裝、廠房建設(shè)和全面的客戶支持發(fā)展。其主要產(chǎn)品包括基于工業(yè)微波等離子體的元件和等離子體源，例如一個(gè)高性能的遠(yuǎn)程等離子體源可以創(chuàng)建自由基（快速反應(yīng)性自由基技術(shù)，R3T），用于在半導(dǎo)體工業(yè)中使用。
天津瑞利光電科技有限公司于2016年成立，坐落于渤海之濱天津，地理位置得天獨(dú)厚，交通運(yùn)輸便利，進(jìn)出口貿(mào)易發(fā)達(dá)。憑借著歐洲的采購中心，我們始終為客戶提供歐美工業(yè)技術(shù)、高新科技等發(fā)達(dá)國家原裝進(jìn)口的光電設(shè)備、光學(xué)儀器、機(jī)電設(shè)備及配件、電氣成套設(shè)備、工業(yè)自動(dòng)化控制設(shè)備產(chǎn)品
