新的緊湊型EPX500高真空干泵的特性是:工作性能,運(yùn)行成本更低。EPX500使用了保護(hù)機(jī)械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于7*10-5 Torr的極限壓力EPX NE系列的泵具有一個終用戶控制器(EUC)。通過終用戶控制器可以實(shí)現(xiàn)獨(dú)立使用的本地控制,并能夠連接到結(jié)構(gòu)的網(wǎng)絡(luò),以進(jìn)行遠(yuǎn)程控制和監(jiān)視。
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