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伯東 KRI 考夫曼霍爾離子源 eH 3000用于玻璃基片清洗
發(fā)布者:bdqysh  發(fā)布時間:2020-11-16 13:18:48

無論是何種膜系結構, 玻璃基片表面的清潔程度和表面狀態(tài)將直接影響所鍍膜層的質量, 如薄膜的附著力/ 粗糙度以及薄膜的物理性能與機械強度.

 

但在放置和傳輸過程中會對玻璃基片表面難以避免地出現(xiàn)不明污染物, 失去 "新鮮表面" 形成鈍化層, 甚至可視痕跡.  對于低輻射玻璃而言, 在瑕疵處生長的銀膜會在后續(xù)鋼化及熱彎過程中形成團聚, 導致透光性能與低輻射性能嚴重惡化, 鍍膜產(chǎn)品報廢,降低成品率.

 

因此, 國內某玻璃制造商采用伯東 KRI 考夫曼霍爾離子源 eH 3000 在玻璃基片傳輸后/ 鍍膜前進行在線基片表面處理工序.

KRI 霍爾離子源 Gridless eH 3000 技術參數(shù):

離子源型號

 

霍爾離子源

eH3000

Cathode/Neutralizer

HC

電壓

50-250V

電流

20A

散射角度

>45

可充氣體

Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others

氣體流量

5-100sccm

高度

6.0“

直徑

9.7“

水冷

可選

F = Filament; HC = Hollow Cathode; xO2 = Optimized for O2 current

 

該制造商采用 KRI 霍爾離子源 Gridless eH 3000離子源解離 Ar 氣體,轟擊玻璃表面,對玻璃基片表面進行清洗和刻蝕.

 

推薦理由:

設備穩(wěn)定,抗污染能力強,可以進行基片表面清洗與輔助沉積, KRI 霍爾離子源 Gridless eH 3000 對玻璃基片表面有效去除二次污染/ 增加基片表面能/ 控制基片表面粗糙度.

 

運行結果:

  1. KRI 霍爾離子源 Gridless eH 3000能有效去除二次污染,
  2. 對玻璃基片有效清洗清洗和刻蝕, 獲得更清潔/ 平滑的玻璃基片表面
  3. 提高了所鍍膜層的質量,提高薄膜的附著力, 改善薄膜粗糙度以及薄膜的物理性能與機械強度
  4. 降低了鍍膜產(chǎn)品報廢,提高了成品率
 
伯東是德國 Pfeiffer 真空泵檢漏儀質譜儀真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

 

 

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