Pfeiffer TMH071P普發(fā)渦輪分子泵進氣法蘭口DN40 ISO-KF,出氣法蘭口DN16 ISO-KF ,抽速可達到33 L/s,轉(zhuǎn)速為90000rpm,對應的控制器為:Pfeiffer TC100,Pfeiffer TC600等。
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