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德國pfeiffer普發(fā)TMH261渦輪分子泵使用和維護(hù)

發(fā)布者：putuovac 發(fā)布時間：2023-05-11 10:57:41

pfeiffer普發(fā) TMH261渦輪泵加上TC 600控制器，形成一個完整的單元。這個系統(tǒng)需要空氣冷卻或水冷卻。TMH 261采用無磨損的永磁軸承在高真空側(cè)和油潤滑的陶瓷球軸承在真空側(cè)。TMH 261只能用于產(chǎn)生真空。如果過程產(chǎn)生灰塵，必須*定相應(yīng)的維護(hù)間隔,如果用超過50%的允許氣體負(fù)荷操作泵，必須使用密封氣體。

來源：廣州潽拓光電科技有限公司

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