產(chǎn)品特點：
* 軸承罩：可確保將制程氣體與軸承潤滑劑相分離，以確保清潔的真空環(huán)境，并避免制程氣體中的污染物進入潤滑劑中，從而延長軸承的使用壽命。
* 變頻器驅(qū)動：全球范圍內(nèi)泵性能完全相同、泵過載保護和遠(yuǎn)程啟動/停止功能特性。
* 高流量氣鎮(zhèn)特性：可實現(xiàn)以高到 240 g/hr 的速度抽取蒸汽(包括水蒸汽)。
* 獨特的軸向氣隙電機：減小了整體泵尺寸，并且降低了功率和噪聲。
* 簡單的單端雙渦旋設(shè)計：可實現(xiàn)在幾分鐘內(nèi)完成維護工作，從而降低運行成本并盡可能延長正常運行時間。
* 雙入口和旁通閥技術(shù)：XDS35iE適用于大腔體的抽氣，防止氣體過度壓縮，提高泵的效率和抽速，延長軸承的使用壽命。