德國普發(fā)Hipace 300 Plus渦輪分子泵維修,Pfeiffer Hipace 300 Plus普發(fā)渦輪分子泵進氣法蘭口DN100 ISO-K/DN100 ISO-F/DN100 CF-F,出氣法蘭口DN 16 ISO-KF,抽速可達到255 L/s – 260 L/s,轉速為60000rpm,極限壓力1X10- 11 mbar,對應的控制器為:Pfeiffer TC400。
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