PIEZOCONCEPT 1軸控制器 緊湊型Z直接驅(qū)動納米定位器 具有高速功能
Z-STAGE是一款緊湊型Z直驅(qū)納米定位器，具有高速性能。
它可以與具有66×66 mm孔徑的2軸納米定位器（LF2/LFHS2）結(jié)合，以獲得SPM3或SPM3LR。Z平臺可提供5、10、25或50μm的運(yùn)動范圍。
該納米定位器是我們高速產(chǎn)品線的一部分（可提供高功率控制器）
1軸控制器
Z-STAGE通常與1軸控制器一起使用，但如果與LT2、LF2或其他壓電級結(jié)合，則可以與2軸或3軸控制器一起。
王博雅
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