廣州潽拓光電科技有限公司維修Edwards NEXT300D/NEXT300T愛德華渦輪分子泵進(jìn)氣法蘭口DN100ISO-K DN100CF,出氣法蘭口DN25,抽速可達(dá)到300 L/s,轉(zhuǎn)速為60000rpm,極限壓力5 x 10-10 mbar,對應(yīng)的控制器為: Edwards TIC200。
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