MLase AG 高功率準分子激光器 MLI-HP-KrF 500 / 1000
MLase AG 高功率準分子激光器 MLI-HP-KrF 500 / 1000
MLase公司自TuiLaser AG的前成員于2007年12月創(chuàng)立MLase以來，我們致力于開發(fā)和生產創(chuàng)新的高質量激光和光系統(tǒng)，這是由高度專業(yè)化的專家團隊積累多年經(jīng)驗的結果。MLase AG考慮到新的技術方面，為客戶提供高質量的產品。MLase AG的質量管理通過了EN ISO 13485:2016認證。
MLI 系列準分子激光器特點：
MLI 系列設備為工業(yè)應用提供具有直接波長的準分子激光器。具有市場上最長的正常運行時間和可靠性以及的運營成本。由于均勻的光束輪廓和能量穩(wěn)定性，適用于要求苛刻的應用。
MLI 系列準分子激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源，具有高達 16 mJ 的高脈沖能量和高達 1,000 Hz 的重復頻率。
當然，如果需要，標準設置的激光器可以根據(jù)個人需求進行調整。如：準分子激光器可用的波長為 193 nm（氣體：ArF 氟化氬）和 248 nm（氣體：KrF 氟化氪）。可根據(jù)要求提供其他波長如157nm等，也可以提供如高功率版本HP
MLI 系列準分子激光器型號：
MLI-HP-KrF 500 / 1000
MLI - 200 / 500 / 1000
MLI-Krf-FBG/200/500/1000
MLI-HP-Krf-FBG/200/500/1000
MLase AG高功率 MLI-HP-KrF 500 / 1000
高可靠性，易于集成
電暈預電離?均勻光束輪廓
固態(tài)電路?立即可用，無老化
卡套管技術?卡套管全金屬密封
數(shù)十億脈沖的延長壽命
能量監(jiān)測器?能量穩(wěn)定
RoHS、CE、CDRH
占空比10%（1000Hz）循環(huán)時間最大30分鐘
占空比20%（500Hz）循環(huán)時間最大30分鐘
占空比100%24/7
電氣230V，50/60Hz，最大2300W。
尺寸（長x寬x高）560 x 355 x 445mm
參數(shù)KrF：
波長（nm）248
最大重復頻率（Hz）500/1000
穩(wěn)定脈沖能量（mJ）14
最大脈沖能量（mJ）20
光束尺寸（FWHM，V x H mm）6x3
光束發(fā)散度（FWHM，V x H mrad）2x1
平均脈沖持續(xù)時間（FWHM）（ns）8-9
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