廣州潽拓光電科技成功維修多臺Agilent Turbo-V81-M安捷倫渦輪分子泵,Agilent Turbo-V81-M安捷倫渦輪分子泵進氣法蘭口CFF4/ISO63,出氣法蘭口KF16,抽速可達到77 L/s ,轉(zhuǎn)速為80000rpm,極限壓力5X10-10 mbar (3.8X10-10 Torr),Agilent Turbo-V81-M對應的控制器為:Agilent Turbo-V81-AG。
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