產(chǎn)品名稱:PALOMAR高真空爐3150
產(chǎn)品型號:3150
產(chǎn)品介紹:
3150高真空爐封裝采用非常低的真空和濕度水平密封,以延長長期性能。提供低至 10-7 Torr 的真空度和高達(dá) 500°C(可選 1000°C)的溫度。潔凈室兼容系統(tǒng)還可配置為允許蓋子和封裝的原位分離、吸氣劑燒制和MEMS封裝的密封。使用渦輪分子阻力泵來有效泵送氫氣分子。對于需要很低水平殘留水蒸氣的工藝,可以將可選的低溫水泵添加到系統(tǒng)中。
性能特點:
?高真空能力
?可選的低溫水泵
?渦輪分子泵
?壓力為12 psig
?自動線性運動階段
?電阻石墨熱系統(tǒng)
?專有運行分析儀軟件
?自動溫度和壓力控制
?分布式邏輯控制系統(tǒng)
?原位熱量激活
?所有配置文件運行的實時繪圖
?溫度高達(dá)1000°C(可選)
參數(shù):
?工作溫度范圍:室溫至500°C(1000°C選項)
?熱工作區(qū):25“ 2(160 cm2)
?min真空水平:<1 x 10-7托爾(1.3 x 10-7 mbar)
?max室內(nèi)氣PSI:15 psig(1.8 bar)
?室深度:12英寸(305毫米)
?工作表面高度:37英寸(95厘米)可調(diào)
?需要壓縮空氣:90 psig(7 bar)
?冷卻方法:可編程氮氣清洗
?加熱方法:可移動的電阻石墨夾具
?工藝氣體(三個輸入):需要N2,(AR,HE,形成氣體可選) @ 90psig(7 bar)min壓力
?尺寸(w x d x h):94“ x 43” x 54“(238 x 109 x 137 cm)
?體重:1800磅(816公斤)
?電氣:208-240伏,60安培,50/60 Hz,1階段,7.3千瓦平均值,13.2千瓦峰
?真空泵類型:渦輪分子阻力(可選的低溫水泵)
?冷卻水:2 GPM(8 lpm) @ 20-25°C,2千瓦的容量min