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PALOMAR高真空爐3150
發(fā)布者:scienar  發(fā)布時間:2022-11-21 15:49:07

產(chǎn)品名稱:PALOMAR高真空爐3150

產(chǎn)品型號:3150

產(chǎn)品介紹:

3150高真空爐封裝采用非常低的真空和濕度水平密封,以延長長期性能。提供低至 10-7 Torr 的真空度和高達(dá) 500°C(可選 1000°C)的溫度。潔凈室兼容系統(tǒng)還可配置為允許蓋子和封裝的原位分離、吸氣劑燒制和MEMS封裝的密封。使用渦輪分子阻力泵來有效泵送氫氣分子。對于需要很低水平殘留水蒸氣的工藝,可以將可選的低溫水泵添加到系統(tǒng)中。

性能特點:

?高真空能力

?可選的低溫水泵

?渦輪分子泵

?壓力為12 psig

?自動線性運動階段

?電阻石墨熱系統(tǒng)

?專有運行分析儀軟件

?自動溫度和壓力控制

?分布式邏輯控制系統(tǒng)

?原位熱量激活

?所有配置文件運行的實時繪圖

?溫度高達(dá)1000°C(可選)

參數(shù):

?工作溫度范圍:室溫至500°C(1000°C選項)

?熱工作區(qū):25“ 2160 cm2)

?min真空水平:<1 x 10-7托爾(1.3 x 10-7 mbar)

?max室內(nèi)氣PSI:15 psig(1.8 bar)

?室深度:12英寸(305毫米)

?工作表面高度:37英寸(95厘米)可調(diào)

?需要壓縮空氣:90 psig(7 bar)

?冷卻方法:可編程氮氣清洗

?加熱方法:可移動的電阻石墨夾具

?工藝氣體(三個輸入):需要N2,(AR,HE,形成氣體可選) @ 90psig(7 bar)min壓力

?尺寸(w x d x h):94“ x 43” x 54“(238 x 109 x 137 cm)

?體重:1800磅(816公斤)

?電氣:208-240伏,60安培,50/60 Hz,1階段,7.3千瓦平均值,13.2千瓦峰

?真空泵類型:渦輪分子阻力(可選的低溫水泵)

?冷卻水:2 GPM(8 lpm) @ 20-25°C,2千瓦的容量min

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