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Edwards愛德華STP-301CVB設(shè)備泵保養(yǎng),精工精機STP-301CVB分子泵維修

發(fā)布者：putuovac 發(fā)布時間：2022-10-14 16:57:19

Seiko Seiki STP-301/STP-301C日本精工精機分子泵進氣法蘭口ICF152/VG100/ISO100，出氣法蘭口KF25，抽速可達到300L/s，轉(zhuǎn)速為48000rpm，VG/ISO法蘭口極限壓力6.5x10-6Pa (5x10-8Torr)，ICF法蘭口極限壓力10-7Pa (10-9Torr)，精工精機STP-H301C分子泵對應(yīng)的控制器為：Seiko Seiki SCU-H301C

來源：廣州潽拓光電科技有限公司

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