也可測量軟質(zhì)材料表面;可以得到較高的測量速度;可用于復(fù)雜曲面、原裝精密諧波SHG-17-120-2SH內(nèi)表面、溝槽和窄小表面的測量，亦可方便地得到多種粗糙度參數(shù)值。其不足之處是分辨力受到光針焦點光斑直徑〔1一2}em)的限制·
C2)針描法測量的幾項有關(guān)問題
1)測量基準的實現(xiàn)針描原裝精密諧波SHG-17-120-2SH法測量基準有兩類:基準和相對基準。
采用基準的針描法中，探針橫向運動軌跡是外部提供的理想基準輪廓，如探針運動導(dǎo)軌、導(dǎo)向玻璃平面或曲面等。由于基準誤差將直接帶入測量結(jié)果之中，因而基準本身應(yīng)具有十分高的精度。原裝精密諧波SHG-17-120-2SH這種方法中探針所測得的結(jié)果將包括形狀誤差、表面波紋度和表面粗糙度在內(nèi)的全部輪廓不平度。