鋼瓶接頭大體其實(shí)就分為三類國標(biāo)接頭,美標(biāo)CGA系列接頭,美標(biāo)超純流體DISS接頭.JIS接頭。
國標(biāo)接頭G5/8螺紋的最為常見,我們?nèi)粘Ｊ褂玫牡鯕搴ざ趸级即罅坎捎玫倪@種鋼瓶接頭進(jìn)行連接.氫氣甲烷等易燃?xì)怏w常見的接頭方式為W21.8左旋這種方式進(jìn)行連接.還有一種接頭也較為常見,標(biāo)準(zhǔn)氣的接頭方式一般為W21.8右旋,這種區(qū)分方式在設(shè)計(jì)上是為了減少鋼瓶接反造成更為嚴(yán)重的事故,但是很難對同類氣體進(jìn)行防呆區(qū)分.國標(biāo)系列的鋼瓶接頭連接均采用了錐面硬密封,如果鋼瓶或鋼瓶接頭錐面出現(xiàn)了機(jī)械損傷或變形,甚至是用力不均都很難保證不出現(xiàn)泄露.所以對國標(biāo)鋼瓶在安全前一定要檢查密封面的情況,特別是易燃易爆氣體,在安裝后要進(jìn)行保壓和側(cè)漏液側(cè)漏才能投入使用,在半導(dǎo)體廠國標(biāo)鋼瓶接頭在大宗氣系統(tǒng)較為常見,當(dāng)然接頭很多為G3/4接頭.
CGA系列接頭則非常豐富, CGA1350,CGA134就是分別用于氫氦車的接頭.CGA-AR-15,CGA-NI-15,CGA-0X-15則是分別用于氬氮氧儲罐的充裝接頭,這在外資公司特別是AP比較常見,這么嚴(yán)格的分開是為了減少誤操作的可能.我們常用的CGA接頭為CGA350(易燃易爆) ,CGA660(有毒有害),CGA580(惰性),CGA320(惰性),CGA678(DCS),其中可以使用墊片的是CGA660.CGA320,CGA678,在密封性上無疑是優(yōu)于國標(biāo)鋼瓶的,可以在硬密封后增加一層墊片的保護(hù),CGA350比較特殊本身沒有設(shè)計(jì)鋼瓶墊片,但是可以使用JIS的鋼瓶墊片,350的接頭如果筆者使用的話,也會(huì)選擇購買墊片增加一層防護(hù).580基本只用在惰性氣體上,則相對安全.?無論式何種氣體在安裝后都要進(jìn)行氣體置換\保壓和側(cè)漏液側(cè)漏才能投入使用,?有條件的使用外置式氦檢儀才能確保安全.
DISS系列接頭脫胎于CGA系列,但是可以提高更高的安全性\更少的純度污染使他在超高純領(lǐng)域別無選擇,如6N及以上純度氣體,同時(shí)高風(fēng)險(xiǎn)氣體也因?yàn)槠涠嘀孛芊獾奶匦?肯定更為安全,泛半導(dǎo)體行業(yè),基本大多都選擇了DISS系列接頭,目前國內(nèi)廠商也并非不能生產(chǎn),但是12年使用國內(nèi)某廠家生產(chǎn)的的DISS系列墊片時(shí)發(fā)現(xiàn)公差較大,墊片偏大無法安裝.,回頭想想還好偏大,如果像近兩年有廠家在將工廠遷移后墊片縮小了0.4mm,使用別的品牌的鋼瓶接頭時(shí),會(huì)出現(xiàn)泄露的情況,無疑還是很良心的,選擇墊片廠商一般盡量會(huì)將瓶閥\鋼瓶接頭和墊片品牌一致.DISS接頭種類也較多常見高風(fēng)險(xiǎn)的為6系列,使用較多的是632,634,636,(高毒易燃自然)鋼瓶接頭一定要與鋼瓶瓶閥接頭一致,氦檢內(nèi)檢法也能達(dá)到很好的漏率測試結(jié)果,首次送氣前,一般會(huì)對管路連接鋼瓶進(jìn)行一次氦檢測試,這可以最大限度的保證安全.7系列的鋼瓶接頭使用的氣體也并非絕對安全,在連接送氣過程中也需要一絲不茍的執(zhí)行廠家建議的作業(yè)程序進(jìn)行操作,7系列常見的接頭如716/718(惰性氧化性)/720/724 (低毒易燃),在連接過程中推薦調(diào)節(jié)好pigtail用手可以鎖緊之后再用扭力扳手鎖死,如果為NI墊片的情況下使用標(biāo)準(zhǔn)扭力扳手鎖死后,在鎖15°左右,密封性最好,墊片沒有出現(xiàn)過變形.半導(dǎo)體常見需要使PCTFE而非NI墊片的氣體有CO,O3.
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