超凈工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)
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zznanbei 發(fā)布時(shí)間：2020-08-11 11:21:37
超凈工作臺(tái)目前在各個(gè)領(lǐng)域已經(jīng)得到了應(yīng)用,對(duì)于潔凈度要求比較苛刻的航天航空，超凈工作臺(tái)的重要作用尤其的明顯!
空氣的過(guò)濾生產(chǎn)環(huán)境初是由航空航天行業(yè)使用的。即使是微小的缺陷也會(huì)導(dǎo)致衛(wèi)星故障，因此NASA及其服務(wù)提供商建造了帶有過(guò)濾天花板的夾層和過(guò)濾墻的車(chē)間。它還率先提出了許多基本的污染控制概念，包括從工作人員干凈的衣服到潔凈室使用的管理方法。
半導(dǎo)體工業(yè)在這方面采用了很多技術(shù)，但其中一個(gè)主要問(wèn)題是，當(dāng)小型加工車(chē)間擴(kuò)大為一個(gè)工人較多的大型車(chē)間時(shí)，很難保持其固有的清潔。在半導(dǎo)體工業(yè)早期，過(guò)濾天花板夾層和墻壁的方法演變成超干凈的工作臺(tái)法。這主要是將過(guò)濾器安裝在一個(gè)工作臺(tái)上，使用一種不掉下來(lái)的材料。在工作臺(tái)外，晶片被儲(chǔ)存和運(yùn)輸在一個(gè)密封的盒子里。
在一個(gè)大型車(chē)間里，一個(gè)連續(xù)的工作臺(tái)(叫做工作層流罩)形成了一個(gè)加工區(qū)域，使晶片按工序的順序通過(guò)，不會(huì)暴露在空氣中。清潔工作蓋中的過(guò)濾器是一種高效的粒子收集過(guò)濾器。這些過(guò)濾器是由脆性纖維組成的，根據(jù)手風(fēng)琴的葉子包含許多孔和折疊。由于孔密度高，過(guò)濾層面積大，大量空氣低速流過(guò)。
由于低速空氣可以避免空氣流動(dòng)，有利于工作臺(tái)的清潔，也需要操作人員在舒適的環(huán)境中工作。典型的空氣流量為每分鐘90至100英寸。HEPA過(guò)濾器可達(dá)到99.99%或更高的過(guò)濾效率，可用于三種凈化方法。
通常，高效過(guò)濾器安裝在超干凈工作臺(tái)的頂部。風(fēng)機(jī)先通過(guò)前過(guò)濾器吸入空氣，然后通過(guò)HEPA過(guò)濾器吸入空氣，然后以均勻和平行的方式流出，改變工作臺(tái)表面的方向并流出工作臺(tái)。安裝板可以控制晶圓表面的氣流方向，通常稱(chēng)為空氣層流垂直工作臺(tái)(VLF)工作臺(tái)，這是以空氣流動(dòng)方向命名的。
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