氣體傳感器是氣體檢測系統(tǒng)的核心，通常設(shè)置在探針內(nèi)。 本質(zhì)上，氣體傳感器是將某種氣體的體積分率轉(zhuǎn)換成電信號的轉(zhuǎn)換器。 探頭用氣體傳感器調(diào)整氣體樣品，通常去除雜質(zhì)和干擾氣體，干燥和制冷處理，抽樣，進(jìn)而化學(xué)處理樣品，使化學(xué)傳感器能夠更快地測量。
可知SnO2、ZnO、Fe2O3、Cr2O3、MgO、NiO2等材料具有氣敏效果. 由這些金屬氧化物制成的氣敏膜是阻抗元件，在氣體分子和敏感膜之間交換離子，發(fā)生還原反應(yīng)，引起敏感膜電阻的變化。 作為傳感器，這種反應(yīng)必須是可逆的，即為了去除氣體分子，必須發(fā)生一次氧化反應(yīng)。 傳感器內(nèi)的加熱器有助于氧化反應(yīng)進(jìn)程。
4、可靠性具體運(yùn)用中，存有UT隨時間飄移的特點，因此，選用在HCl氛圍中生長發(fā)育一層SiO2電纜護(hù)套，能夠 明顯改進(jìn)UT的飄移。除氡氣外，別的汽體不可以根據(jù)鈀柵，制做別的汽體的Pd—MOSFET氣敏傳感器要選用一定對策，如制做CO敏MOSFET時要在鈀柵上制做約20nm的小圓孔，就能夠 容許CO汽體根據(jù)。此外，由于Pd—MOSFET對氫氣有較高的靈敏度，而對CO的靈敏度卻較低，為此可在鈀柵上蒸發(fā)一層厚約20nm的鋁作保護(hù)層，阻止氫氣通過。鈀對氨氣分解反應(yīng)的催化作用較弱，為此，要先在SiO2絕緣層上沉淀一層活性金屬，如Pt、Ir、La等。再制作鈀柵，可制成氨氣敏MOSFET。
