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英國Edwards高真空泵
發(fā)布者:tjcelisstj  發(fā)布時間:2019-12-20 09:56:40

英國Edwards高真空泵


天津賽力斯自動化科技有限公司是一家集研發(fā)、工程、銷售、技術服務于一體的現(xiàn)代化企業(yè),“賽力斯=的自動化設備供應商”的品牌理念已經(jīng)深入人心。公司主要經(jīng)營歐、美、日等發(fā)達國家的機電一體化設備、高精度分析檢測儀器、環(huán)境與新能源工業(yè)設備及電動工具等工控自動化產(chǎn)品。憑借的技術與商務團隊,公司在為客戶帶來優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品的同時,還可提供自動化工程技術服務及成套解決方案。


英國Edwards愛德華從1939年開始制造真空設備直到現(xiàn)在,包含半導體與新興技術、 一般真空產(chǎn)品和服務(售后支持),這些業(yè)務在其所服務的市場上不斷發(fā)展。英國Edwards產(chǎn)品是半導體、平板顯示器、LED 和太陽能電池的制造過程中不可缺少的部分,應用于日益多范圍化的工業(yè)過程,包括電力、玻璃和其他涂層應用、鋼和其他冶金、制藥和化學;適用于科學儀器和許多研發(fā)應用。

我們的目標是您的業(yè)務成功。您的Edwards設備的性能可實現(xiàn)這一點,以確保工具正常運行時間,晶圓產(chǎn)量,操作和對環(huán)境的影響小。

捕獲泵技術可為從便攜式質(zhì)譜儀到大型粒子加速器的各種應用創(chuàng)建高真空(HV)和高真空(UHV)環(huán)境。它們可以經(jīng)濟的方式產(chǎn)生盡可能低的真空度。

離子泵

離子泵,也稱為濺射離子泵或離子吸氣泵,是使用陽極/陰極陣列使氣體電離的捕獲泵。離子濺射反應性陰極材料,產(chǎn)生化學反應,將離子化的氣體變成固體化合物。這些化合物不再有助于真空系統(tǒng)的壓力,而是捕獲在離子泵中。離子泵可在10 -5至10 -12 mbar的壓力下運行,大小范圍為0.2至1,200 l / s的氮氣。

鈦熱升華泵

TSP的工作方式是加熱鈦絲并將鈦分子升華(從固相轉(zhuǎn)變?yōu)闅庀啵┑奖砻嫔稀H缓罂梢詫⑸A的鈦分子與反應性氣體(例如氧氣和氮氣)進行化學反應,并解離并擴散氫。TSP可以在10 -5到10 -12 mbar之間運行,抽速超過10,000 l / s的氫氣。

不可蒸發(fā)的吸氣泵

NEG是已被壓在固體基材上或燒結成圓盤的活性金屬。已發(fā)現(xiàn)鋯,釩和鐵的特定組合適合于HV和UHV環(huán)境。所使用的材料量控制著NEG泵的速度和容量,但通常范圍為55至412 l / s,容量為630至3600 Torr l / s。當NEG充滿氣體時,可以重新激活它們而無需排入大氣。

高真空泵的主要特點

消除機械振動

捕獲泵沒有活動部件。消除了運動部件產(chǎn)生的振動和電氣噪聲

高輻射耐受性

捕獲泵由耐輻射材料超過108 Gray制成。連接器和電纜還采用耐輻射材料制成,可連續(xù)運行多年

耐高溫

無需特別考慮,捕獲泵可以烘烤至250°C。取下磁體可使高溫烘烤達到450°C。長時間熱烘烤對于每個特高壓系統(tǒng)都至關重要

消除了定期維護

捕獲泵幾乎不需要維護,并且避免了昂貴的真空事件,因為它們與大氣隔絕,節(jié)省了時間和資源

 

初期運營成本低

初始成本通常低于其他類型真空泵的可比規(guī)格。多年來低成本運行,它們消耗的功率很少或沒有功率


我們的宗旨:信義為根,嚴謹為本,凝心聚力,行思行遠
我們的管理:張弛有度,目標一致
我們的團隊:專注高效,隊堅勢盛
我們的服務:掌握市場動態(tài),傾聽客戶需求
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