Parker派克隔膜閥詳細(xì)資料,不愧為閥門老司機(jī),穩(wěn)定不翻車
930 系列隔膜閥(1-1 / 8英寸的閥體尺寸)可用于各種手動(dòng)操作和氣動(dòng)執(zhí)行器操作。它擁有優(yōu)異的可靠性,泄漏完整性和清潔度,使其在UHP半導(dǎo)體行業(yè)中成為理想的應(yīng)用。
NOVA 系列 (Catalog 4515)
? 通用型,使用壽命長(zhǎng),結(jié)構(gòu)緊湊
? 多種手柄形式可選
? 用于減壓閥出口控制閥,氣體控制面板和分析取樣系統(tǒng)
NOVAAOP (Catalog 4515)
? 通用型,使用壽命長(zhǎng),結(jié)構(gòu)緊湊
? 用于減壓閥出口控制,氣體控制面板和取樣分析系統(tǒng)
? 常開(kāi)和常閉兩種形式可選
? 多種氣控執(zhí)行壓力可選
手柄安全鎖設(shè)計(jì) (Catalog 4505)
? 耐久金屬設(shè)計(jì)
? 使用現(xiàn)場(chǎng)可升級(jí)為標(biāo)準(zhǔn)手柄控制閥
? 可用于面板安裝
①. 派克930系列1-1 / 8英寸不銹鋼閥體隔膜閥提供優(yōu)異的泄漏完整性,高循環(huán)使用壽命和低顆粒發(fā)生,非常適用于UHP半導(dǎo)體應(yīng)用。
930系列采用不與過(guò)程流體接觸無(wú)螺紋或彈簧設(shè)計(jì),可最大限度地減少顆粒產(chǎn)生和截留,減少半導(dǎo)體應(yīng)用中必不可少的工藝污染。該系列閥門的嚴(yán)格設(shè)計(jì),控制閥座和隔膜應(yīng)力,以提供可靠和免維護(hù)的使用壽命。930系列閥門潤(rùn)濕部件由特種金屬制成,提供卓越的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體是內(nèi)部采用電拋光處理的Vericlean? 316L不銹鋼材質(zhì)。 Vericlean? 是派克專有的UHP級(jí)不銹鋼。隔膜是高強(qiáng)度鈷基合金材質(zhì)。 930系列還提供聚三氟氯乙烯(PCTFE),聚醚醚酮樹(shù)脂(PEEK®)和聚酰亞胺(Vespel®)材質(zhì)的閥座,可使930閥門與各種工藝流體相兼容。這些材料結(jié)合930系列嚴(yán)格的設(shè)計(jì)特點(diǎn),給予了930系列產(chǎn)品在入口壓力高達(dá)300 psig時(shí)極度的耐腐蝕性和最大循環(huán)使用壽命。
930系列氣動(dòng)閥可以配置限位開(kāi)關(guān)或接近開(kāi)關(guān),用以提供開(kāi) - 關(guān)位置指示。還有多種閥體構(gòu)造可選,包括930Y系列(Y型閥)和SM930系列(面板安裝)。
930系列閥門上內(nèi)部(閥座)密封件和密封外的金屬部件均通過(guò)質(zhì)譜儀進(jìn)行氦氣泄露測(cè)試,以確保在苛刻的UHP應(yīng)用中,保有其性能和可靠性。
②.市場(chǎng):
? 半導(dǎo)體
? 分析實(shí)驗(yàn)室
? 制藥
? 生物制藥
? 航空航天
? 工業(yè)
③.特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì):
? 電拋光表面光潔度:5微英寸(Ra)
? 高循環(huán)使用壽命(包括耐腐蝕性服務(wù))
? 內(nèi)部無(wú)彈簧和無(wú)螺紋設(shè)計(jì)可最大限度地減少顆粒產(chǎn)生和氣體截留
? 全壓力范圍使用:從真空到300 psig
? 內(nèi)部泄漏率:≤1 x 10-9 scc / sec He
? 外部泄漏率:≤2 x 10-10 scc / sec He
? AOP驅(qū)動(dòng),額定壓力為75 psig
派克漢尼汾公司的Veriflo 工廠是生產(chǎn)高精度隔膜閥,減壓閥
和模塊式表面安裝元組件產(chǎn)品的全球領(lǐng)導(dǎo)者,產(chǎn)品專業(yè)應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)晶圓制程中所需要的各種特種氣、液體的輸送和控制系統(tǒng),同時(shí)也廣泛應(yīng)用于石油化工、分析及實(shí)驗(yàn)室
等領(lǐng)域。
Vespel® 是杜邦高性能彈性體L.L.C.公司(DuPont Performance Elastomers L.L.C.)的注冊(cè)商標(biāo)。
VeriClean? 是派克漢尼汾公司(Parker Hannifin Corporation)的商標(biāo)PEEK? 是威格斯公司(Victrex plc)的商標(biāo)。
④.性能特點(diǎn)
閥體材料 非常清潔的 316L不銹鋼
隔膜材料 相當(dāng)于埃爾吉洛伊非磁性合金(Elgiloy)
底座材料 PCTFE聚三氟氯乙烯(標(biāo)準(zhǔn)),PEEK(聚醚醚酮樹(shù)脂),聚酰亞胺(Vespel)
蓋帽材料 17-4不銹鋼
螺母材料 316L 不銹鋼
殼體材料 陽(yáng)極氧化鋁
證明壓力 188 psig (13 barg) (AOPLP, G)
450 psig (31 barg) (AOPMP, K, L, I, M, S)
爆破壓力 375 psig (26 barg) (AOPLP, G)
900 psig (62 barg) (AOPMP, K, L, I, M, S)
流體容量(CV) Cv 0.3 (AOP), Cv 0.22 (杠桿)
內(nèi)部泄漏率 ≤ 1 x 10ˉ9 sccc He
外部泄漏率 ≤ 2 x 10ˉ10 sccc He
內(nèi)部容積(毫升) 2.64 cc
重量(磅) 1.75
重量(公斤) 0.8
開(kāi)關(guān)類型 單刀單擲(SPST)
瞬時(shí)性動(dòng)作,不可調(diào)
輸入電壓 1/4 amp 在115 VAC(常閉)(AOPLPLSC,AOPMPLSC)
1/2 amp在115 VAC(常開(kāi))(AOPLPLSO,AOPMPLSO)
導(dǎo)線長(zhǎng)度(英寸) 7英寸長(zhǎng)引線
布線 26 AWG,UL1061型,相當(dāng)于雙絞線
線纜連接 1/8“ 鍍錫端口
最大入口壓力(PSIG) 125 psig (AOPLP, G) | 300 psig (AOPMP, K, L, I, M, S)
最大入口壓力(BARG) 8.6 barg (AOPLP, G) | 20.7 barg (AOPMP, K, L, I, M, S)
驅(qū)動(dòng)壓力 75 psig 公稱(5 barg)
烘烤溫度(C) 在打開(kāi)位置時(shí)耐溫121℃
烘烤溫度(F) 在打開(kāi)位置時(shí)耐溫250°F
最高工作油溫(C) 66°C
最高工作油溫(F) 150°F
最低工作油溫(C) -40°C
最小工作溫度(F) -40°F
我司為美國(guó)派克一級(jí)代理,有派克授權(quán)書,假一賠百
儀表閥方面優(yōu)勢(shì)大,價(jià)格好
美國(guó)派克授權(quán)一級(jí)代理商