Parker派克減壓閥、超高純減壓閥、微型超精密減壓閥-派克儀表總代理
Parker減壓閥是針對(duì)半導(dǎo)體流程工藝的精確控制和高性能要求而開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品,它針對(duì)超
高純氣體流通環(huán)境的要求以及特種氣體的特性進(jìn)行設(shè)計(jì)和制造。
①. 超高純減壓閥表面安裝集成模塊(IGS )系列:
? 1 1? "&1 1?8"SEMI 模塊化接口設(shè)計(jì)
? 表面光潔度為 Ra
? 無(wú)螺紋/彈簧設(shè)計(jì)(介質(zhì)流通的腔道內(nèi))
? Hastelloy C-?材質(zhì)的膜片和閥芯
? 膜片/閥芯一體式設(shè)計(jì)
②. 微型超精密減壓閥
? 最優(yōu)化的設(shè)計(jì)使流道、內(nèi)腔與介質(zhì)的接觸面積最小
? 表面光潔度為 Ra
? 無(wú)彈簧/螺紋設(shè)計(jì)(介質(zhì)流通的腔道內(nèi))
? Hastelloy C-?材質(zhì)的膜片和閥芯
? 膜片/閥芯一體式設(shè)計(jì)
③.超高純減壓閥SQ系列
? 終端(POU )減壓閥
? 無(wú)彈簧/螺紋設(shè)計(jì)(介質(zhì)流通的腔道內(nèi))
? Hastelloy C-?材質(zhì)的膜片和閥芯
? 膜片/閥芯一體式設(shè)計(jì)
④. Quantum系列:
? 膜片/閥芯一體式設(shè)計(jì)
? 內(nèi)腔無(wú)螺紋設(shè)計(jì)
? 膜片與閥體間采用金屬密封
? 標(biāo)準(zhǔn)Cv值0 . 04;Cv值0 . 可選
? 兩級(jí)減壓可選
美國(guó)派克授權(quán)一級(jí)代理商