等離子體刻蝕和光刻膠剝離工藝是前端（FEOL）半導(dǎo)體制造步驟中的關(guān)鍵點(diǎn)。這些工藝會(huì)留下不需要的聚合物殘留物，這些殘留物是在這些蝕刻和剝離步驟中使用的侵蝕性化學(xué)物質(zhì)的副產(chǎn)品。
幾十年來，上海自動(dòng)化儀表有限公司用于促進(jìn)去除這些殘余物的技術(shù)之一是在等離子體化學(xué)中引入超純的去離子水蒸氣。幾乎與半導(dǎo)體制造的所有方面一樣，非常注意控制每個(gè)工藝步驟中的變量，以幫助確保最高水平的均勻性和微芯片產(chǎn)量。 這包括盡最大可能控制殘留物去除過程中使用的水蒸汽的體積，流量和純度。上海自動(dòng)化儀表有限公司最近推出了一種新型蒸氣流量計(jì)，該流量計(jì)采用獨(dú)特的蒸氣傳輸技術(shù)方法，比同類蒸氣傳輸系統(tǒng)的精確性和重復(fù)性高30倍。 解決方案：恒定輸送壓力（DP） 基于經(jīng)過驗(yàn)證的熱質(zhì)量流量測(cè)量技術(shù)和現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的可靠蒸汽流量計(jì)，該產(chǎn)品通過精確和可重復(fù)的水蒸汽流量輸送降低了過程變化，并提供了更寬的控制范圍。 蒸汽流量計(jì)在非過熱蒸汽階段在鈍化鈦容器中產(chǎn)生蒸汽。水庫含有去離子（DI）水，加熱到嚴(yán)格控制的范圍：90.7±3°C。 由于溫度保持非常穩(wěn)定，流量計(jì)室的上部包含恒定的非過熱蒸汽。反過來，油箱的蒸汽壓力也被精確控制：從487-611托。通過集成到流量計(jì)中的質(zhì)量流量控制器（MFC）將蒸氣輸送到真空室，并使用我們行業(yè)領(lǐng)先的GF100系列MFC使用的相同的超精密熱質(zhì)量流量控制信號(hào)處理和校準(zhǔn)技術(shù)。
這種設(shè)計(jì)使得蒸汽流量計(jì)可以通過在MFC上保持恒定的DP來實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的流量：
進(jìn)口MFC水蒸氣壓力是罐溫度的函數(shù)
進(jìn)入真空室的出口MFC壓力由室/管線壓力決定
這種技術(shù)方法使蒸汽流量計(jì)能夠提供業(yè)界最佳的蒸汽輸送精度和可重復(fù)性：±1％SP流量精度，被評(píng)為比競(jìng)爭(zhēng)蒸汽輸送系統(tǒng)更精確。
該技術(shù)產(chǎn)生化學(xué)純的水蒸氣，不含分解副產(chǎn)物或其他污染物。實(shí)質(zhì)上，蒸汽流量計(jì)不斷“蒸餾”DI水蒸氣，同時(shí)保持恒定的蒸汽壓力進(jìn)入MFC。此外，鈍化鈦罐和UHP 316L SS“濕路徑”結(jié)構(gòu)材料有助于減少非揮發(fā)性污染物進(jìn)入處理室的可能性。
結(jié)果：需要使用去離子水蒸汽的半導(dǎo)體光刻膠條和聚合物殘?jiān)コに嚲哂挟?dāng)今要求最嚴(yán)格的半導(dǎo)體制造工藝所要求的準(zhǔn)確性，可重復(fù)性和清潔度水平。
最新一代的蒸氣流量計(jì)結(jié)合最高的精度，可重復(fù)性和更寬的控制范圍，為用戶提供最廣泛的工藝配方靈活性，以滿足他們的獨(dú)特需求。它還具有EtherCAT®通信功能，可提供支持下一代工藝設(shè)備平臺(tái)的增強(qiáng)型高速數(shù)字通信。
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