近現(xiàn)代傳感器制造工藝分類
傳感器在近現(xiàn)代主要的制造工藝有四種，分別是集成傳感器、薄膜傳感器、厚膜傳感器和陶瓷傳感器。
1、集成傳感器
集成傳感器的生產(chǎn)工藝，和生產(chǎn)標準硅基半導體集成電路工藝是基本相同的。傳感器通過集成方式進行制造后，可以獲得更小的體積并集成更多的功能，部分集成傳感器可以擁有一部分處理功能，來處理被測量信號。
2、薄膜傳感器
薄膜傳感器的制造涉及了納米等先進技術(shù)，薄膜傳感器的制作方法是在介質(zhì)襯底也就是基板上，用敏感材料形成一層薄膜。薄膜傳感器在制作時也可以復合一些電路系統(tǒng)，這需要使用到混合工藝。
3、厚膜傳感器
厚膜傳感器和薄膜傳感器相對應(yīng)，也是在基片上形成膜來進行制造，區(qū)別是厚膜傳感器是在陶瓷制造的基片上，用敏感材料的漿料進行涂覆。厚膜傳感器的制造材料多是氧化鋁，涂層形成后進行熱處理，這樣厚膜即可成型。
4、陶瓷傳感器
陶瓷傳感器即新工藝的應(yīng)用也是傳統(tǒng)材料的應(yīng)用，陶瓷傳感器所使用的陶瓷材料是精細陶瓷也被稱為高科技陶瓷，陶瓷傳感器的制造主要是依靠標準的陶瓷工藝或變種的溶膠工藝，完成適當?shù)念A備性操作之后，將成形的元件在高溫中進行燒結(jié)。
傳感器的制造工藝中厚膜傳感器和陶瓷傳感器的生產(chǎn)工藝有很多相通之處，因此也可以將厚膜傳感器制造工藝理解為陶瓷傳感器制造工藝的一種變形。傳感器的各種制造工藝之間并沒有明確的優(yōu)劣之分，各個制造工藝都有自己的優(yōu)點和不足，但目前厚膜和陶瓷技術(shù)應(yīng)用的更為廣泛。
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