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氣敏傳感器是用來(lái)檢測(cè)氣體類別、濃度和成分的傳感器。由于而死氣體種類繁多,性質(zhì)各不相同,不可能用一種傳感器檢測(cè)所有類別 的氣體,因此,能實(shí)現(xiàn)電轉(zhuǎn)換的傳感器種類很多,按構(gòu)成材料可將氣敏傳感器分為半導(dǎo)體和非半導(dǎo)體兩大類。目前實(shí)際使用最多的是半導(dǎo)體氣敏傳感器。
半導(dǎo)體氣敏傳感器是利用待測(cè)氣體與半導(dǎo)體表面接觸時(shí),產(chǎn)生的電導(dǎo)率等物理性質(zhì)的變化來(lái)檢測(cè)氣體的。按照半導(dǎo)體與氣體相互作用時(shí)產(chǎn)生的變化只限于半導(dǎo)體表面或深入到半導(dǎo)體內(nèi)部,可分為表面控制型和體控制型,前者半導(dǎo)體表面吸附的氣體與半導(dǎo)體間發(fā)生電子接觸,結(jié)果使半導(dǎo)體的電導(dǎo)率等物理性質(zhì)發(fā)生變化,但內(nèi)部化學(xué)組成不變,后者半導(dǎo)體與氣體反應(yīng),使半導(dǎo)體內(nèi)部組成發(fā)生變化,從而使電導(dǎo)率變化。按照半導(dǎo)體變化的物理特性,又可分為電阻型和非電阻型,電阻型半導(dǎo)體氣敏元件是利用敏感材料接觸氣體時(shí),其阻值變化來(lái)檢測(cè)氣體的成分或濃度,非電阻型半導(dǎo)體氣敏元件是利用其他參數(shù),如二極管仗安特性和場(chǎng)效應(yīng)晶體管的閾值電壓變化來(lái)檢測(cè)被測(cè)氣體的。
氣敏傳感器是暴露在各種成分的氣體中使用