離子束加工的原理和特點(diǎn)
1)離子束加工原理
離子束加工的原理與電子束加工基本類似.也是在真空條件下，將離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過加速后，撞擊在工件表面上，引起材料變形、破壞和分離。由于離子帶正電荷，其質(zhì)量是電子的千萬倍，因此離子束加工主要靠高速離子束的微觀機(jī)械撞擊動(dòng)能，而不是像電子束加工主要靠熱效應(yīng)。
惰性氣體氫氣由入口)主入電離室。灼熱的燈絲發(fā)射電子，電子在陽極的吸引和電磁線圈的偏轉(zhuǎn)作用下，向下高速作螺旋運(yùn)動(dòng)。氫在高速電子的撞擊下被電離成離子。陽極和陰極各有數(shù)百個(gè)上下位置對(duì)齊、直徑為0. 3mm的小孔，形成數(shù)百條較準(zhǔn)直的離子束，均勻分布在直徑為50mm的圓面積上。通過調(diào)整加速電壓，可以得到不同速度的離子束，以實(shí)現(xiàn)不同的加工。
(2)離子束加工的特點(diǎn)
1>離子束轟擊工件的材料時(shí)，其束流密度和能量可以精確控制，因此可以實(shí)現(xiàn)毫微米0.001級(jí)的加工，是當(dāng)代毫微米加工技術(shù)的基礎(chǔ)。
2)離子束加工在真空中進(jìn)行，污染少，特別適宜加工易氧化的金屬、合金和高純度的半導(dǎo)體材料。
3)離子束加工的宏觀壓力小，因此加工應(yīng)力小，熱變形小，加工表面質(zhì)量非常高。