靜電對電子工業(yè)危害分析
靜電對電子工業(yè)危害主要表現(xiàn)為以下三種方式：塵埃吸附、靜電放電和靜電感應(yīng)。
(1)塵埃吸附
靜電對幾~幾十微米的塵埃吸附作用明顯。塵埃對微電子生產(chǎn)影響很大，在現(xiàn)代微電子生產(chǎn)中，芯片的線寬已達到0.1微米。一顆直徑幾微米塵埃吸附在芯片上，即可造成十幾根芯線間的絕緣強度降低，造成短路并使芯片損壞。
注: 1μm =0.001mm, 頭發(fā)直徑：75μm，
肉眼可見最小黑點：40μm。
(2) 靜電放電 （ESD）
靜電放電可使集成電路芯片介質(zhì)擊穿，芯線熔斷、漏電流增大而加速老化、電性能參數(shù)改變等。靜電放電對芯片損壞具有潛在性與和緩慢失效性，這種危害性更大。
(3) 靜電感應(yīng)
