FFU具有特點(diǎn)
第一:靈活性。
因?yàn)?span lang="EN-US">FFU是自帶動力的,它不受區(qū)域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里,可根據(jù)需要,分區(qū)控制。而且,隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化,廠房布局必然要作相應(yīng)調(diào)整,FFU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松,而且不會帶來二次投資。
第二:可再利用性。
從理論上講,一時不用的FFU設(shè)備,可以拆下來,密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三:負(fù)壓通風(fēng)。
這是FFU的獨(dú)特特點(diǎn)。由于它本身能夠提供靜壓,使得送風(fēng)靜壓箱相對于潔凈廠房負(fù)壓。這樣,靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里,使得密封變得很簡單而且安全。
第四:縮短建設(shè)周期。
使用FFU省掉了風(fēng)管的制作和安裝,因?yàn)轱L(fēng)管在潔凈工程中,占掉很大的建設(shè)周期,任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益,選用FFU成為了一種可能。
第五:減少運(yùn)行成本。
雖然在選用FFU時,初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高,但它在后期運(yùn)行中,突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護(hù)等特點(diǎn)。
編輯本段不銹鋼FFU特點(diǎn)
1.FFU外形尺寸(mm):1175*575*340,噪聲小于50分貝;
2.FFU箱體和高效過濾器采用分體式設(shè)計,安裝,更換高效更方便;
3.風(fēng)機(jī)采用德國ebm直驅(qū)式離心風(fēng)機(jī),工作時間長達(dá)5萬小時以上;
4.并具有節(jié)能、計算機(jī)集中控制、運(yùn)行穩(wěn)定、噪聲低、數(shù)字化調(diào)整等特性;
5.FFU采用獨(dú)特的風(fēng)道風(fēng)速均勻,整個出風(fēng)面以0.45M/S風(fēng)速均勻送出?!?span lang="EN-US">
7.出廠前均按美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)(209E)用激光粒子計數(shù)器逐臺掃描檢測,確保質(zhì)量;
8.適用于10~1000級無塵車間,便于整體運(yùn)行集中控制;
9.適合于組裝成超凈生產(chǎn)線,可根據(jù)工藝需要布置為單臺使用,也可將多臺串聯(lián)形成100級流水裝配線。